(topography of integrated microcircuit) зафиксированное на материальном носителе пространственно-геометрическое расположение совокупности элементов интегральноймикросхемы и связей между ними. Виды материальных носителей могут быть самыми разными: бумага (для чертежей), прозрачная полимерная пленка (для фотошаблонов), магнитный или оптический диск с закодированной на нем информацией о топологии (применяемые в технологии без использования фотошаблонов), наконец, сам кристалл (из полупроводникового или иного материала) интегральноймикросхемы со сформированной на нем топологией.
